Pachet sistem EBL (Electronic-Beam Lithography)

    SEAP
    ID
    DA14591232
    Data
    24 Noiembrie 2017
    Valoare
    95.000 RON
    Stare
    Oferta acceptata
    Autoritatea contractanta
    3321234 - Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Fizica si Inginerie Nucleara "Horia Hulubei"
    Localitate
    Magurele, Ilfov
    Furnizor
    36738492 - S.C. NanoSystems MC S.R.L.
    Tipul contractului
    -
    Cod CPV
    31712000-0 - Masini si aparate microelectronice si microsisteme (Rev.2)
    Descriere:
    Contract de furnizare: "Pachet sistem EBL (Electronic-Beam Lithography) continand: Beam blanker pentru SEM si electronica alimentare beam blanker; switch pentru beam blanker; LithoBox; accesorii" Modelul de contract si specificatiile tehnice vor fi transmise pe adresa de email postate in SEAP.
    Achizitii
    95.000 RON
    Cantitate: 1
    Unitate masura: Set
    Electronica si accesorii pentru litografie cu fascicul de electroni
    Beam blanker: -Va putea fi folosit pentru minimizarea efectului de incarcare electrostatica a probei neconductoare -Beam blankerul va putea fi folosit pentru litografie cu electroni -De tip electrostatic, de mare viteza. -Beam Blankerul va contine un dispozitiv de blocare a fasciculului conectat la un amplificator rapid: 10MHz maxim. -Timp de blocare: 50ns tipic -Timp de iluminare: 50ns tipic -Timp de intarziere (delay): 60-80ns tipic -Tensiune de deflectare: - 180V -Va fi inclus la livrare un switch EBL/EDS: trecerea de la EDS la EBL sa fie cat mai facila pentru utilizator -Placa electronica pentru alimentarea electrica a beam-blankerului -Sistem retractabil, astfel incat sa poata fi protejat in modul BDM si in momentul in care se foloseste plasma cleaning. Suport de litografie: -Pozitia pentru probe: probe = 2'' -Faraday Cup: integrat permanent -Probe etalon gold on carbon -Fotorezist: PMMA 950K A2 (500 ml); -Developper: MIBK (2.5 l) si IPA (5 l); -Stopper -Banda de Cu fata dubla; dimensiuni 12.7mm x 16.4 m; -Vopsea pe baza de grafit si apa 50 g; -Ink pen pentru SEM: 1 buc; -Pensete: 2 buc. Garantie: 24 de luni de la data livrarii. Garantia se va asigura pentru toate componentele livrate. Documente de livrare: certificat de garantie, manual de utilizare (in engleza sau in limba romana, tiparit si pe CD/DVD sau pe alt mediu digital), certificat/declaratie de calitate si conformitate.