nanoETCH Soft RIE Upgrade

    SEAP
    ID
    DA32668097
    Data
    27 Februarie 2023
    Valoare
    41.719,34 RON
    Stare
    Oferta acceptata
    Autoritatea contractanta
    1154 - I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
    Localitate
    Voluntari, Ilfov
    Furnizor
    36738492 - S.C. NanoSystems MC S.R.L.
    Tipul contractului
    Furnizare
    Cod CPV
    48150000-4 - Pachete software pentru control industrial (Rev.2)
    Descriere:
    nanoETCH Soft RIE Upgrade; Suita upgrade software pentru a permite functionarea de module aditionale, include: Sursa electrica RF cu auto-matching incorporat si integrare completa cu suita software PLC existenta. Limita maxima este setata la 30W in concordanta cu capacitatea maxima a platanului sistemului nanoETCH si aplicatiile tipice. Operarea de catre utilizator se face cu ajutorul ecranului touch HMI si rezolutia de control este de 10mW. MFC (mass flow control) aditionat pentru admisia de azot ca gaz de proces
    Achizitii
    41.719,34 RON
    Cantitate: 1
    Unitate masura: bucata
    nanoETCH Soft RIE Upgrade
    Suita upgrade software pentru a permite functionarea de module aditionale, include: Sursa electrica RF cu auto-matching incorporat si integrare completa cu suita software PLC existenta. Limita maxima este setata la 30W in concordanta cu capacitatea maxima a platanului sistemului nanoETCH si aplicatiile tipice. Operarea de catre utilizator se face cu ajutorul ecranului touch HMI si rezolutia de control este de 10mW. MFC (mass flow control) aditionat pentru admisia de azot ca gaz de proces.