Serviciu mentenanta pentru sistem depuneri in vid tip cluster
SEAPIDStare
DA28958087
Data08 Octombrie 2021
Valoare124.500 RON
Oferta acceptata
Autoritatea contractantaLocalitateMagurele, Ilfov
FurnizorTipul contractuluiServicii
Cod CPVDescriere:Autoritatea contractantă dorește să achziționeze ”Serviciu mentenanta pentru sistem depuneri in vid tip cluster”, în conformitate cu cerințele și condițiile din caietul de sarcini si in conformitate cu clauzele contractuale din formularul de contract, atasate. Prin acceptarea achiziției se consideră acceptate cerințele si conditiile din caietul de sarcini si clauzele contractuale din formularul de contract atasate, iar achizitia se va finaliza cu semnarea unui contract de servicii. Astfel, după acceptarea ofertei în SEAP, autoritatea contractanta va transmite operatorului economic, prin email, o invitatie cu detaliile referitoare la semnarea contractului de achiziție publică. Termenul de prestare a serviciilor începe să curgă de la semnarea contractului de către ambele părți. Persoane de contact pentru prestarea serviciilor: Victor Leca - Sef Laborator Tinte.
Achizitii124.500 RON
Cantitate: 1
Unitate masura: bucata
Serviciu de mentenanță pentru sistem de depuneri în vid tip cluster
Se va realiza verificarea componentelor mentionate mai jos ale sistemului de depuneri prin RF/DC sputtering tip cluster, repararea si inlocuirea componentelor cu uzura accentuata astfel incat sa se aduca acest echipament la starea de functionare si operare optima. Se vor realiza cel putin urmatoarele activitati:
- Verificarea si mentenanta sistemului de vid al clusterului: pompe preliminare si pompe turbomoleculare, controlere pompe turbomoleculare, conexiune PC de control – controllere; inlocuirea componentelor uzate;
- Verificarea si mentenanta magnetroanelor: verificare unitati de control, sistem de alimentare cu gaz, sistem de racire; curatare componente linii de racire;
- Verificarea surselor de putere RF si DC ale magnetroanelor;
- Verificarea viewporturilor: verificarea posibilelor puncte cu pierderi de vid (leak-uri), curatarea ferestrelor viewporturilor;
- Verificarea si repararea sistemului de transport si transfer a probelor intre loadlock si cele doua camere de proces ale clusterului: pozitionare probe in loadlock si aliniere/transfer probe in-situ intre camere
- Rezolvarea problemei de contaminare in camera 3 a clusterului: gasire sursa de contaminare, inlocuire garnituri;
- Verificarea si intretinerea shutterelor magnetroanelor si ale unitatii de suport probe.
Consumabilele si piesele de schimb necesare pentru efectuarea cu success a serviciilor propuse sunt incluse in pretul serviciilor.